Ölfreier Luftkompressor für Halbleiterlabore

Um zuverlässige Versorgungsleitungen für Präzisionsforschungseinrichtungen einzurichten, beziehen Sie sich auf Lieferanten von China Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs. Die hochreinen Luftlösungen von DECHUAN nutzen mehrschichtige Kohlenstoffisolationsdichtungen, um Spuren von Kohlenwasserstoffen zu eliminieren und so eine makellose Gasqualität für das kritische Ätzen von Silizium sicherzustellen.

Kritische Anforderungen an die Reinheit von Reinraumgasen

Bei der Halbleiterfertigung und der Dünnschichtlithographie kann bereits ein einziger mikroskopisch kleiner Tropfen Öldampf, der durch die Luftleitung transportiert wird, eine ganze Produktionscharge ruinieren. Dieses Spezialprodukt wurde entwickelt, um die absolut höchsten Reinheitsstandards zu erfüllen:

• TÜV-zertifizierte Luftzufuhr der Klasse 0: Unsere Systeme werden strengen Tests bei unterschiedlichen Betriebstemperaturen unterzogen. Unabhängige Analysen bestätigen, dass im Ausgangsluftstrom absolut keine Ölspuren vorhanden sind.

• Korrosionsfreie interne Luftwege: Jedes Rohrstück, jedes Kühlerbündel und jede Trennmatrix stromabwärts der Kompressionskammer ist aus hochwertigem Edelstahl gefertigt, um zu verhindern, dass Rostflocken die Luftleitungen im Reinraum verunreinigen.

• Fortschrittliche Elektronikon®-Integration: Der integrierte Controller verfolgt die Betriebsmetriken genau und verfügt über proaktive Sicherheitsabschaltungen, um sicherzustellen, dass niemals unreine Luft in das Labornetz gelangt.

Die hohen Kosten der Mikrokontamination in der Elektronik

Bei der Herstellung von Halbleiterwafern kann ein einziger Tropfen Ölaerosol die gesamte Reinraumumgebung verunreinigen, Tausende von Siliziumwafern ruinieren und zu Produktionszeitausfällen in Millionenhöhe führen. Herkömmliche Luftkompressoren können nicht die absolute Kohlenwasserstoff-freie Reinheit garantieren, die für diese Prozesse im Nanometerbereich erforderlich ist.

Der spezialisierte ölfreie Luftkompressor für Halbleiterlabore garantiert pure Prozesssicherheit:

• Zertifizierter Luftstrom der KLASSE 0: Vom TÜV in extremen Temperatur- und Druckbereichen streng getestet, um sicherzustellen, dass absolut kein Öl vorhanden ist.

• Partikelfreie Innenteile: Vorkühler aus Edelstahl und Sternrippen-Wärmetauscher verhindern Oxidationsflocken oder chemische Freisetzungen im Luftweg.

• Electronic Monitoring Shield: Proaktive Wartungsalarme und automatische Fehlerabschaltungen verhindern Systemabweichungen, bevor sie Ihre Reinraumgeräte erreichen.

Technische Reinheitsparameter

• Systemnennleistung: 55 kW – 900 kW High-Density-Konfigurationen.

• Volumetrische Förderleistung: 4,2 – 148,5 m³/min Reinstromleistung.

• Klassifizierung des Ölgehalts: ISO 8573-1 Klasse 0, völlig ölfreie Validierung.

• Kühlanordnung: Flüssigkeitskühlung aus Edelstahl verhindert das Ausgasen von Chemikalien.

Die Leistungsreferenzbedingungen für das Gerät wurden gemäß Anhang C, 4. Ausgabe (2009) von ISO 1217 gemessen:

· Relative Luftfeuchtigkeit: 0 %

· Absoluter Eingangsdruck: 1 bar

· Einlasstemperatur: 20 °C. Die Entladungsrate (FAD) wurde bei den folgenden Betriebsdrücken gemessen:

Typ mit konstanter Geschwindigkeit:

·  -7,5 bar Typ: 7 bar

· -8,6 bar Typ: 7 bar

· -10 bar Typ: 9 bar

VSD-Typ:

· -8,6 bar Typ: 7 bar

· -10,4 bar Typ: 9 bar

· (2) Bewerteter Emissionsschalldruckpegel der Klasse A des Arbeitsplatzes (LpWSAd). Gemessen gemäß ISO 2151:2004 (unter Verwendung der Schallintensitäts-Scanmethode 150 9614/2). Der neu hinzugefügte Korrekturfaktor ist ein völlig unsicherer Wert (KpAd), der dem Testcode entspricht.

· (3) Das Gewicht dient nur als Referenz; Maßgeblich ist das tatsächlich gelieferte Gewicht.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Gemäß ISO 1217 Anhang C, 4. Ausgabe (2009), sind die Referenzbedingungen für die Geräteleistung wie folgt:

· Relative Luftfeuchtigkeit: 0 %

· Absoluter Eingangsdruck: 1 bar

· Einlasstemperatur: 20°C

Der Verdrängungs-FAD wird bei den folgenden Betriebsdrücken gemessen:

Modelle mit konstanter Geschwindigkeit:

-7,5-bar-Modelle: 7 bar

-8,6-bar-Modelle: 7 bar

-10-bar-Modelle: 9 bar

VSD-Modelle:

-8,6-bar-Modelle: 7 bar

-10,4-bar-Modelle: 9 bar

(2) Bewerteter Emissionsschalldruckpegel der Klasse A des Arbeitsplatzes (LpWSAd). Gemessen gemäß ISO 2151:2004 (ISO 9614/2-Schallintensitäts-Scanmethode). Der neu hinzugefügte Korrekturfaktor KpAd ist unsicher und entspricht dem Testcode.

(3) V1=380 V, V2=400 V.

(4) Das Gewicht dient nur als Referenz; Maßgeblich ist das tatsächliche Gewicht.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Relative Luftfeuchtigkeit: 0 %

-Absoluter Eingangsdruck: 1bar

-Einlasstemperatur: 20°℃

Die Entladungsrate (FAD) wurde bei den folgenden Betriebsdrücken gemessen

Typ mit konstanter Geschwindigkeit:

-7,5 bar Typ: 7 bar

-8,6 bar Typ: 7 bar

-10 bar Typ: 9 bar

VSD-Typ:

-8,6 bar Typ: 7 bar

-10,4 bar Typ: 9 bar

(2) Bewerteter Emissionsschalldruckpegel der Klasse A des Arbeitsplatzes (LpWSAd).

Gemessen gemäß ISO 2151:2004 (mit 150 9614/2 (Schallintensitäts-Scan-Methode).

Der neu hinzugefügte Korrekturfaktor ist ein völlig unsicherer Wert (KpAd), der dem Testcode entspricht.

(3) Das Gewicht dient nur als Referenz; Maßgeblich ist das tatsächlich gelieferte Gewicht.

ZR 300-750

Die Leistungsreferenzbedingungen für das Gerät wurden gemäß Anhang C, 4. Ausgabe (2009) von ISO 1217 gemessen:

· Relative Luftfeuchtigkeit: 0 %

· Absoluter Eingangsdruck: 1 bar

· Einlasstemperatur: 20 °C. Die Entladungsrate (FAD) wurde bei den folgenden Betriebsdrücken gemessen:

Typ mit konstanter Geschwindigkeit:

·  -7,5 bar Typ: 7 bar

· -8,6 bar Typ: 7 bar

· -10 bar Typ: 9 bar

VSD-Typ:

· -8,6 bar Typ: 7 bar

· -10,4 bar Typ: 9 bar

· (2) Bewerteter Emissionsschalldruckpegel der Klasse A des Arbeitsplatzes (LpWSAd). Gemessen gemäß ISO 2151:2004 (unter Verwendung der Schallintensitäts-Scanmethode 150 9614/2). Der neu hinzugefügte Korrekturfaktor ist ein völlig unsicherer Wert (KpAd), der dem Testcode entspricht.

· (3) Das Gewicht dient nur als Referenz; Maßgeblich ist das tatsächlich gelieferte Gewicht.

ZR 200X-400X

Die Leistungsreferenzbedingungen für das Gerät wurden gemäß Anhang C, 4. Ausgabe (2009) von ISO 1217 gemessen:

· Relative Luftfeuchtigkeit: 0 %

· Absoluter Eingangsdruck: 1 bar

· Einlasstemperatur: 20 °C. Die Entladungsrate (FAD) wurde bei den folgenden Betriebsdrücken gemessen:

Typ mit konstanter Geschwindigkeit:

·  -7,5 bar Typ: 7 bar

· -8,6 bar Typ: 7 bar

· -10 bar Typ: 9 bar

VSD-Typ:

· -8,6 bar Typ: 7 bar

· -10,4 bar Typ: 9 bar

· (2) Bewerteter Emissionsschalldruckpegel der Klasse A des Arbeitsplatzes (LpWSAd). Gemessen gemäß ISO 2151:2004 (unter Verwendung der Schallintensitäts-Scanmethode 150 9614/2). Der neu hinzugefügte Korrekturfaktor ist ein völlig unsicherer Wert (KpAd), der dem Testcode entspricht.

· (3) Das Gewicht dient nur als Referenz; Maßgeblich ist das tatsächlich gelieferte Gewicht.

Benutzerfallstudie für Reinraumlabore

Ein Elektronikhersteller in Asien installierte das spezielle Luftsystem von DECHUAN zur Versorgung von Kreisläufen zur Erzeugung von hochreinem Stickstoff und pneumatischen Prüfarmen. Bisher ermöglichten Standardkompressoren, dass Spuren von Öldämpfen an Inline-Filtern vorbeiwandern, Lithographielinsen beschichteten und Mikrorisse in Waferbeschichtungen verursachten. Nach der Installation des ölfreien Luftkompressors für Halbleiterlabore meldete das Labor keine ölbedingten Leitungskontaminationsvorfälle, wodurch im Laufe von zwei Jahren Dauerbetrieb erhebliche Kosten für die Reinigung und Neukalibrierung des Reinraums eingespart wurden.

Maßgeschneiderte Komponentenanpassung und -kontrolle

• Aufwertung des Edelstahlmaterials: Wir ersetzen alle standardmäßigen internen Gusskomponenten durch hochwertigen Edelstahl, um strenge Mikrokontaminationsrichtlinien zu erfüllen.

• Erweiterte Kommunikationsprotokolle: Das Gerät ist mit speziellen Kommunikationsprotokollen vorinstalliert, die es Reinraumkontrollzentren ermöglichen, Luftmetriken aus der Ferne zu überwachen.

• Kompakter baulicher Platzbedarf: Die Innenaufteilung ist so optimiert, dass der Platzbedarf minimiert wird, was die Installation in engen Laborkellerräumen erleichtert.

Häufig gestellte Fragen für Industriekäufer

F: Können wir diesen Kompressor direkt an Ultrahochreinheitsfiltrationskreisläufe (UHP) anschließen?

A: Ja, unsere Luftleistung ist vollständig kompatibel mit modernen Reinraum-Adsorptionstrocknern und Submikron-Partikelfiltrationssystemen. Da die Rohluft keinen Öldampf enthält, werden Ihre Spezialfilter am Einsatzort nicht durch Ölnebel verstopft, was die Filterlebensdauer verlängert.

F: Wie stellen die Z-Dichtungen sicher, dass keine Ölmigration aus der Getriebebaugruppe erfolgt?

A: Der ölfreie Luftkompressor für Halbleiterlabore verfügt über einen physikalischen atmosphärischen Entlüftungsraum zwischen dem ölgeschmierten Getriebegehäuse und der trockenen Kompressionskammer. Spezielle berührungslose Kohlenstoffringdichtungen werden mit Unterdruckkanälen gepaart, um sicherzustellen, dass jeglicher Getriebeölnebel vollständig daran gehindert wird, in den Reinluftstrom einzudringen.

F: Was passiert, wenn ein interner Temperatursensor einen abnormalen Messwert erkennt?

A: Der Elektronikon®-Controller erfasst wichtige Daten mehrmals pro Sekunde. Wenn zu irgendeinem Zeitpunkt ein Temperaturanstieg festgestellt wird, löst das System sofort eine automatische Abschaltung aus und schließt die Absperrventile, um sicherzustellen, dass keine ungekühlte Luft nach unten in die empfindlichen Geräte Ihres Labors strömt.